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  • 书名 微机电系统(MEMS)设计和原型设计指南
  • 书号 978-7-118-09690-3
  • 作者 李会丹
  • 出版时间 2014年11月
  • 译者
  • 版次 1版1次
  • 开本 16
  • 装帧 平装
  • 出版基金
  • 页数 135
  • 字数 161
  • 中图分类 TM380.2-62
  • 丛书名
  • 定价

微机电系统(MEMS)设计和原型设计指南 无论你是正在学习初级MEMS课程的学生,还是想要在MEMS设计上进步飞速的设计师,这些实用指导都可以提供开展MEMS器件设计、制造和测试所需要的实操经验。你可以了解到如何使用代工厂多工程制造工艺进行低成本MEMS工程设计,以及如何使用计算机辅助设计工具(布局、建模)进行MEMS器件的设计。在本书中描述和分析了大量的设计案例,涉及领域包括微观力学、电磁学、光学、热学和流体学等。其中有一章专门介绍MEMS器件的封装和测试;此外,在本书每章的最后,都描述了 MEMS设计的实践和挑战,并提供了相关的解决方案。 Joel A. Kubby是加州大学圣克鲁兹分校巴斯金工程学院的电子工程教授。此前,他曾经是施乐威尔逊研发中心的区域经理,也是纽约韦伯斯特的技术人员之一。他曾经带领一个由6 个企业联合而成的工业研究组织进行光学MEMS的新工艺开发,该项目属于国家标准和技术研究所的高端技术计划(ATP),Joel A. Kubby本人拥有超过80项专利。

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